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深セン市竜崗区恒路E時代412

MEMS可変形ミラー

Boston Micromchines社はMEMS（マイクロエレクトロメカニカルシステム）可変形鏡面技術を開発し、MEMS可変形ミラーは先進的な光学制御に用いられている。これらのマイクロ精密変形ミラーにより、世界トップクラスの研究者は天文学、顕微鏡技術、レーザー制御、網膜イメージングにおいて突破する

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MEMS（マイコン電気システム）変形可能鏡面技術MEMS可変形ミラー

Vilkes光電は、ユーザーに次のものを提供します。Boston Micromachines Corporation(BMC)のマイコン電気可変変形ミラーとマイコン電気分割変形ミラーであり、タイプは主に低アクチュエータ数に分けられるDM、中アクチュエータ数DMおよび高アクチュエータ数MEMS変形可能なミラー。

Multi-DM可変形ミラーは、最大 5.5 μmの行程、2 kHzのフレームレート、サブナノスケールステップ、およびヒステリシスがない。でX-Driverの形式はMulti-DMシステムは高速電子アップグレードを提供する。

中のアクチュエータ数DMシステムは高性能波面補正器であり、天文学、レーザー通信、遠隔イメージングなどの要求が厳しい応用に適し、3種類を提供する：Kilo-DM、492-DMと648-DM。

Kilo−DM可変形ミラーは、正確、高速、高解像度波面制御のためのイネーブルメントコンポーネントである。最大 1020 個のアクチュエータ制御は、1ナノメートル以下の精度でヒステリシスがなく、このシステムは要求の厳しい応用に適している。

流行のKilo-DM変形可能なミラーの代替品、492-DMと648-DMより低コストで使用でき、優れた効果を得ることができます。492-DMと648-DMシステムはそれぞれ492と648アクチュエータの精度制御は、1 nm以下、かつヒステリシスがなく、天文学と次世代イメージング応用の理想的な選択である。

Boston MicromchinesのMEMS可変形ミラーそのうち低ブレーキ数MEMSミラーは高度な波面制御のための経済的で汎用的な収差変調ソリューションであり、最大140個の正確に制御された素子と低アクチュエータとの間の結合、Multi-DMシステムは顕微鏡、天文学、網膜イメージング、レーザービーム整形応用を含む広範な応用の理想的な選択である。このようなDM適応光学または空間光変調器応用のために使用できる連続面およびセグメント面。

Boston Micromchines Corporation（BMC）は高アクチュエータ数MEMS波面補正能力を高めるために世界各地の有名な天文施設に配備されている変形ミラー技術の業界リーダー。4K-DMふたご座惑星イメージング機器に搭載2K-DM複数の空間望遠鏡の概念の設計に含まれています。

また、2K-DMスバルコロナスコープの極端適応光学（SCExAO）機器とマゼラン望遠鏡(MagAO-X)の実験的コロナ極端適応光学系におけるイネーブルコンポーネント。長年、両者とも空中観測で運転を続けてきた。

MEMS可変形ミラーミラーミラーの特徴：

・大アレイは高解像度波面補正を生成する。

・高度な微細構造により、高空間周波数表面の隣接アクチュエータ間の影響を最小限に抑えることができる

-最適化設計により高速アプリケーションの高速波面整形を実現

マイコン電気セグメント変形ミラー、MEMS変形可能ミラーの仕様：

DMモデル	アクチュエータ数	スパン開口アクチュエータ数	物理ストローク（μm）	波面ストローク（μm）	孔径（mm）	ピッチ（μm）	きかいおうとう	更新率：標準（kHz）	更新率：高速（kHz）	近似アクチュエータ結合
492-S-1.0-SLM	492	24	1.0	2.0	9.60	400	＜80	60	n/a	0%
492-3.5-SLM	492	24	3.5	7.0	9.60	400	＜80	45	n/a	0%
Kilo-CS-1.0-SLM	952	34	1.0	2.0	13.60	400	＜80	60	n/a	0%
Kilo-C-3.5-SLM	952	34	3.5	7.0	13.60	400	＜80	45	n/a	0%
2K-1.5L-SLM	2040	50	1.5	3.0	20.00	400	＜20	30	n/a	0%
2K-3.5-SLM	2040	50	3.5	7.0	20.00	400	＜80	30	n/a	0%

注：充填係数>98%(SLM)、表面形状：<30 nm

*カスタムアクチュエータは必要に応じて提供できます

マイコン電気可変変形ミラー、MEMSデフォーマ仕様：

DMモデル	アクチュエータ数	スパン開口アクチュエータ数	物理ストローク（μm）	波面ストローク（μm）	穴径（mm）	ピッチ（μm）	きかいおうとう	更新率：標準（kHz）	更新率：高速（kHz）	近似アクチュエータ結合
Multi-C-1.5L-DM	137	13	1.5	3.0	4.80	400	＜75	2	100	15%
Multi-3.5-DM	140	12	3.5	7.0	4.40	400	＜75	2	100	13%
Multi-3.5L-DM	140	12	3.5	7.0	4.95	450	＜75	2	100	13%
Multi-5.5-DM	140	12	5.5	11.0	4.95	450	＜100	2	100	22%
492-S-0.6-DM	492	24	0.6	1.2	6.90	300	＜20	60	n/a	15%
492-S-1.0-DM	492	24	1.0	2.0	9.20	400	＜75	60	n/a	13%
492-1.5-DM	492	24	1.5	3.0	6.90	300	＜20	45	60	15%
492-3.5-DM	492	24	3.5	7.0	9.20	400	＜75	45	60	13%
492-5.5-DM	492	24	5.5	11.0	10.35	450	＜100	45	60	22%
648-5.5-DM	648	28	5.5	11.0	12.15	450	＜100	45	60	22%
Kilo-CS-0.6-DM	952	34	0.6	1.2	9.90	300	＜20	60	n/a	15%
Kilo-CS-1.0-DM	952	34	1.0	2.0	13.20	400	＜75	60	n/a	13%
Kilo-C-1.5-DM	952	34	1.5	3.0	9.90	300	＜20	45	60	15%
Kilo-C-3.5-DM	952	34	3.5	7.0	13.20	400	＜75	45	60	13%
2K-1.5L-DM	2040	50	1.5	3.0	19.60	400	＜40	30	n/a	15%
2K-3.5-DM	2040	50	3.5	7.0	19.60	400	＜75	30	n/a	13%
3K-1.5-DM	3063	62	1.5	3.0	18.30	300	＜20	16	n/a	15%
4K-3.5-DM	4092	64	3.5	7.0	25.20	400	＜75	16	n/a	13%

充填係数>99%（DM）、表面形状：<30 nm
*カスタムアクチュエータは必要に応じて提供できます

MEMS可変形ミラーで使用可能なオプション：

へんけいきょう	めっきそう	ウィンドウARめっき層（nm）	ドライブ*
Multi	アルミニウム金保護銀	400-1100 550-2500 650-1050 1050-1700 1550	Multi-Driver X-Driver
492 648 ** Kilo		400-1100 550-2500 1550	S-Driver ** Kilo-Driver Kilo-Low-Latency-Driver
2K 3K 4K		400-1100 550-2500 1550	+K Driver

*サブナノスケールの平均ステップサイズ

**S-Driverは対象外648 DM

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